奮起直追 推動高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)自(zì)立自(zì)強-中國(guó)電(diàn)子科技(jì)集團有限公司

編者按：

電(diàn)子強軍，科技(jì)報(bào)國(guó)。中國(guó)電(diàn)科深入學習貫徹習近平總書記重要講話精神和重要指示批示精神，秉承軍工(gōng)電(diàn)子主力軍、網信事(shì)業(yè)國(guó)家隊、國(guó)家戰略科技(jì)力量的使命責任，堅決履行強軍首責，聚力推動改革創新，用一(yī)型型“大國(guó)重器(qì)”服務武器(qì)裝備現代化和高(gāo)水(shuǐ)平科技(jì)自(zì)立自(zì)強。為(wèi)展現電(diàn)科人為(wèi)強國(guó)強軍事(shì)業(yè)的不懈追求，特開(kāi)設“中國(guó)電(diàn)科與大國(guó)重器(qì)”專欄報(bào)道，今日推出報(bào)道“奮起直追 推動高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)自(zì)立自(zì)強”。

“成功了！成功了！”

　　仲夏深夜，在北(běi)京東南(nán)方的中國(guó)電(diàn)科所屬北(běi)京爍科中科信設備研發中心，傳來一(yī)聲聲激動的呐喊聲，困擾研發團隊已久的高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)核心技(jì)術(shù)難關得到(dào)突破！幾日後，好消息傳來，由該團隊自(zì)主研制的國(guó)内首台高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)順利進駐國(guó)内先進集成電(diàn)路(lù)大生(shēng)産線。

　　高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技(jì)術(shù)難度最大的機(jī)型，是我國(guó)集成電(diàn)路(lù)制造裝備産業(yè)鏈上(shàng)亟待攻克的關鍵一(yī)環。

　　習近平總書記指出，突破“卡脖子”關鍵核心技(jì)術(shù)必須堅持問題導向，發揮新型舉國(guó)體制優勢，踔厲奮發、奮起直追，加快實現科技(jì)自(zì)立自(zì)強。

　　中國(guó)電(diàn)科貫徹落實習近平總書記重要指示批示精神，發揮集團公司國(guó)家戰略科技(jì)力量重要作用，下(xià)定決心、保持恒心、找準重心，加快補齊産業(yè)鏈供應鏈短闆弱項，提升關鍵核心技(jì)術(shù)掌控力。

　　作為(wèi)集成電(diàn)路(lù)芯片制造的關鍵設備，離子注入機(jī)設備的研制難度極大、研制基礎薄弱。“決不能(néng)讓芯片制造斷鏈短鏈！”懷揣裝備報(bào)國(guó)的理想，研發團隊正式向關鍵裝備研制發起了挑戰，經過艱苦努力，在成千上(shàng)萬遍實驗模拟後，實現了中束流、大束流、高(gāo)能(néng)、特種應用及第三代半導體等全譜系離子注入機(jī)自(zì)主創新發展，大幅縮小(xiǎo)了與國(guó)際一(yī)流水(shuǐ)平差距。

　　聚焦全産業(yè)鏈，高(gāo)端裝備産業(yè)化也已然邁出新步伐。中國(guó)電(diàn)科董事(shì)長(cháng)、黨組書記陳肇雄強調，要充分發揮電(diàn)子信息領域完整産業(yè)鏈優勢，統籌戰略需求，保持恒心定力，補齊短闆弱項，強化“非對稱”趕超戰略思維，以長(cháng)補短、換道超車，堅決打赢關鍵核心技(jì)術(shù)攻堅戰。

　　堅持推進高(gāo)水(shuǐ)平科技(jì)自(zì)立自(zì)強澎湃向前。近年(nián)來，中國(guó)電(diàn)科積極布局集成電(diàn)路(lù)制造裝備、三代半導體等一(yī)批重點産業(yè)領域，成效顯著：圍繞支撐集成電(diàn)路(lù)産業(yè)發展的電(diàn)子制造裝備領域、電(diàn)子功能(néng)材料領域，中國(guó)電(diàn)科已形成離子注入機(jī)、化學機(jī)械平坦化設備（CMP）等拳頭産品，集成電(diàn)路(lù)關鍵制造裝備産業(yè)規模化、産品系列化步伐明顯加快，關鍵領域保障能(néng)力不斷增強，有效提升産業(yè)鏈供應鏈現代化水(shuǐ)平；聚焦半導體制造、半導體應用，中國(guó)電(diàn)科連續攻克數百項關鍵核心技(jì)術(shù)，填補了産業(yè)鏈空白(bái)；著(zhe)力打造國(guó)産集成電(diàn)路(lù)和三代半導體裝備驗證平台，封裝組裝、新能(néng)源、新型顯示裝備及其智能(néng)制造集成服務核心競争力優勢不斷提升。

　　未來，中國(guó)電(diàn)科将繼續瞄準國(guó)家重大戰略需求，在關鍵核心技(jì)術(shù)上(shàng)全力攻堅，為(wèi)高(gāo)水(shuǐ)平科技(jì)自(zì)立自(zì)強作出更大貢獻。