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中國(guó)電(diàn)科再簽多(duō)台大型卧式高(gāo)溫純化裝備訂單-中國(guó)電(diàn)子科技(jì)集團有限公司

來源:新聞中心 作者:新聞中心 時間:2023-03-04

  近日,電(diàn)科裝備所屬山西(xī)中電(diàn)科新能(néng)源技(jì)術(shù)有限公司與多(duō)家知名企業(yè)再簽多(duō)台大型卧式高(gāo)溫純化裝備訂單,進一(yī)步鞏固在國(guó)内高(gāo)溫純化領域市(shì)場主導地位。

  目前,國(guó)内矽基半導體和第三代半導體行業(yè)對高(gāo)純碳基材料的需求大幅增加,電(diàn)科裝備瞄準該領域自(zì)主研發大型卧式高(gāo)溫純化裝備,采用全新爐膽結構、進氣模式、真空系統,配套核心純化工(gōng)藝包,可滿足第三代半導體行業(yè)應用需求。

  電(diàn)科裝備積極布局碳基材料裝備領域,先後研發國(guó)内首台套軟氈連續式純化爐、國(guó)内首台套碳納米管連續純化爐、立式/卧式/感應高(gāo)溫純化爐等,并集成配套純化工(gōng)藝包,設備技(jì)術(shù)及質量均達到(dào)國(guó)内領先水(shuǐ)平。後續,電(diàn)科裝備将持續深耕,大力創新,不斷推動我國(guó)碳基材料高(gāo)溫純化裝備自(zì)立自(zì)強。