起步“開(kāi)門(mén)紅(hóng)”，離子注入機(jī)跑出交付“加速度”-中國(guó)電(diàn)子科技(jì)集團有限公司

　　滿載設備的運輸車整裝待發，又(yòu)一(yī)台離子注入機(jī)設備駛向客戶現場，這是電(diàn)科裝備今年(nián)交付的第三台離子注入機(jī)。

　　過去一(yī)年(nián)，電(diàn)科裝備累計新簽設備數量創下(xià)曆史新高(gāo)，同比增長(cháng)近70%，在不同工(gōng)藝、不同應用領域多(duō)點開(kāi)花并獲得重複訂單。為(wèi)了滿足日益增長(cháng)的訂單需求，離子注入機(jī)團隊拿出開(kāi)局即沖刺的精氣神，早謀劃早部署，早行動早落實。

　　離子注入機(jī)是集成電(diàn)路(lù)芯片制造的關鍵設備，研制難度極大。為(wèi)全力攻克這一(yī)難題，研發團隊通(tōng)過成千上(shàng)萬次模拟實驗，夜以繼日的在線驗證，自(zì)主研制出中束流、大束流、高(gāo)能(néng)、特種應用及第三代半導體等離子注入機(jī)，成功實現我國(guó)集成電(diàn)路(lù)制造領域全系列離子注入機(jī)自(zì)主創新發展。

　　面向未來，中國(guó)電(diàn)科将以黨的二十大精神為(wèi)指引，繼續瞄準國(guó)家重大戰略需求，加快推動離子注入裝備産業(yè)化發展，為(wèi)高(gāo)水(shuǐ)平科技(jì)自(zì)立自(zì)強作出新的更大貢獻。