勇擔使命，向著(zhe)極精細世界邁進-中國(guó)電(diàn)子科技(jì)集團有限公司

　　設備生(shēng)産有條不紊、機(jī)台調試精益求精、技(jì)術(shù)叠代有序展開(kāi)……當下(xià)，中國(guó)電(diàn)科所屬爍科中科信正同步生(shēng)産調試13台離子注入機(jī)，設備制造與工(gōng)藝調試雙管齊下(xià)，生(shēng)産一(yī)線熱火朝天。

　　離子注入機(jī)是芯片制造的關鍵裝備。目前，爍科中科信自(zì)主研制出中束流、大束流、高(gāo)能(néng)、特種應用及第三代半導體等多(duō)類型離子注入機(jī)，實現了我國(guó)芯片制造領域全系列離子注入機(jī)創新發展。2023年(nián)開(kāi)年(nián)，設備訂單總額突破2億元，行業(yè)認可度持續攀升。

　　“離子注入機(jī)具有專業(yè)性強、涉及學科多(duō)、精密化程度高(gāo)等特點，研制難度極高(gāo)。”技(jì)術(shù)人員(yuán)回憶研發過程，依然動容。

　　兩萬五千多(duō)個(gè)硬件(jiàn)7×24小(xiǎo)時密切配合，軟件(jiàn)系統高(gāo)速運轉，要讓束流時刻保持在特定的高(gāo)能(néng)量，精準地注入到(dào)矽片的指定區域，不能(néng)有一(yī)絲卡頓……這隻是高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)工(gōng)程化的“基礎套餐”。

　　要實現這些極端嚴苛要求，需要一(yī)個(gè)關卡接一(yī)個(gè)關卡地闖。其中就(jiù)有将高(gāo)能(néng)量束流均一(yī)性指标提高(gāo)0.5%。

　　千萬别小(xiǎo)看(kàn)這0.5%的改變！它需要項目團隊不眠不休地與影響均一(yī)性的5項關鍵指标“死磕”，修改5000多(duō)次程序。每次從(cóng)實驗室出來，技(jì)術(shù)人員(yuán)在無塵服的包裹下(xià)都汗流浃背，來不及擦拭，就(jiù)又(yòu)奔向辦公室，總結實驗數據。

　　最終，項目組如願實現技(jì)術(shù)指标，又(yòu)接連突破高(gāo)能(néng)離子加速技(jì)術(shù)等核心技(jì)術(shù)難關，各項工(gōng)藝指标均達要求。目前，高(gāo)能(néng)離子注入機(jī)已進入産線工(gōng)藝驗證的最後階段。

　　技(jì)術(shù)突破是多(duō)方面的。高(gāo)溫注入工(gōng)藝的成功研發是另一(yī)個(gè)标志(zhì)性成果。

　　為(wèi)推進研發進度，項目組紮根實驗室，将原理創新與局部驗證相(xiàng)結合，對整個(gè)溫控流程進行數十次仿真驗證，最終實現在高(gāo)溫時，設備仍能(néng)對晶圓均勻吸附，且能(néng)夠保障高(gāo)效穩定傳輸的目标。同時，為(wèi)了保障獲取更加精準的工(gōng)藝參數，測試人員(yuán)在高(gāo)溫設備旁對幾十道加熱工(gōng)藝進行上(shàng)百次測試實驗，為(wèi)快速推算(suàn)工(gōng)藝參數提供了可靠的數據支撐。

　　功夫不負有心人，事(shì)關實驗成功與否的一(yī)組關鍵參數從(cóng)開(kāi)始的偏離理想值，到(dào)逐漸無限接近，直至通(tōng)過嚴密論證，達到(dào)高(gāo)溫注入的工(gōng)藝要求，實現控制精度和作業(yè)速度的雙赢。

　　目前，技(jì)術(shù)提升在系列産品中遍地開(kāi)花，中束流設備模組交付形式已步入正軌，大束流設備已實現與國(guó)際先進機(jī)台對标，大幅提升産品的市(shì)場核心競争力。

　　“發展國(guó)産裝備，鑄就(jiù)國(guó)芯基石。”項目組夢想不停步，繼續勇攀工(gōng)藝制程新高(gāo)度，提高(gāo)設備生(shēng)産效率，帶動産業(yè)鏈發展。